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PANDORA 是高度集成的臺式原子層沉積系統(tǒng),可擺放在實(shí)驗(yàn)室的任意角落,采用旋轉(zhuǎn)式反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)對粉末材料的分散,有更高的兼容性。對于平面樣品,則可快速插入平面反應(yīng)臺,實(shí)現(xiàn)樣品的切換。PANDORA 高度集成的特點(diǎn)提高了使用效率,使用者甚至在安裝的第一天便可以開始 ALD 實(shí)驗(yàn)?!続LD 包覆改性方案】